FFKM ialah bahan pengedap berprestasi tinggi. Prestasi cemerlangnya telah membolehkan aplikasinya menembusi keseluruhan sistem pembuatan produk semikonduktor. Antaranya, cincin pengedap FFKM adalah salah satu bahan guna guna utama yang diperlukan untuk pengeluaran litar bersepadu.
struktur dan ciri prestasi FFKM
FFKM dikopolimerkan oleh tetrafluoroethylene (TFE), perfluoroalkyl vinyl ether (PAVE) sebagai monomer utama, dan sejumlah kecil monomer titik penawar (CSM). Seperti yang ditunjukkan dalam rajah di bawah, semua atom karbon dalam polimer Atom hidrogen pada getah semuanya digantikan oleh atom fluorin, menjadikannya getah yang tidak mengandungi ikatan CH sama sekali.
Ciri prestasi utama FFKM:
1) Sifat fizikal
Ketumpatan FFKM ialah 1.9-2.0g/cm³. Sifat mekanikal suhu normalnya adalah hampir dengan fluororubber (FKM) berasaskan vinylidene fluoride (VDF), tetapi sifat mekanikal suhu tingginya lebih baik daripada fluororubber.
2) Rintangan kimia
Tiada atom hidrogen dalam rantai molekul FFKM, dan ikatan CC pada asasnya dikelilingi oleh cangkerang yang terdiri daripada atom F, menunjukkan sifat lengai kimia yang kuat dan menjadikan polimer tahan terhadap bahan kimia dengan ketara.
3) Rintangan suhu tinggi dan rendah
Suhu operasi FFKM biasanya 260 ~ 290 darjah, dan boleh digunakan secara berselang-seli pada suhu tinggi 316 darjah. Memandangkan sebilangan besar kumpulan -OCF3 dimasukkan ke dalam rantai cawangan molekul, fleksibiliti molekul bertambah baik dan rintangan suhu rendah getah bertambah baik.
4) Rintangan plasma
Dalam persekitaran plasma, ia mempamerkan ciri produk kebersihan yang tinggi dan kerpasan rendah, dan boleh menahan pengeboman plasma untuk masa yang lama.
Aplikasi fFKM dalam semikonduktor
Dalam pembuatan semikonduktor, kebolehpercayaan pengedap elastomer adalah penting kerana penutupan pengeluaran untuk menggantikan pengedap adalah sangat mahal. Untuk mengelakkan potensi risiko, keperluan untuk kebersihan dan ketulenan anjing laut adalah sangat ketat. Pada masa yang sama, meterai mesti dapat bekerja untuk masa yang lama dalam persekitaran tekanan suhu tinggi, vakum tinggi dan gas kimia yang menghakis.
Dari segi aplikasi semikonduktor, FFKM memberi tumpuan terutamanya kepada:
1) Pengedap gas: Dalam proses pembuatan semikonduktor, pemprosesan dan pengangkutan pelbagai gas adalah penting. Cincin O FFKM digunakan untuk menutup saluran paip, injap dan sambungan gas untuk memastikan gas tidak bocor dan mengekalkan kestabilan proses.
2) Goresan dan pembersihan: Langkah-langkah goresan dan pembersihan dalam proses semikonduktor selalunya melibatkan penggunaan media menghakis seperti asid kuat atau alkali. Cincin O FFKM digunakan secara meluas dalam bahagian peralatan yang bersentuhan dengan media ini, seperti kebuk etsa, tangki pembersihan, dan lain-lain kerana rintangan kakisan yang sangat baik.
3) Pengangkutan cecair dan kimia:Dalam pembuatan semikonduktor, pelbagai cecair dan bahan kimia perlu diangkut, seperti larutan, pelarut, cecair pembersih, dll. Cincin O FFKM boleh digunakan untuk mengelak komponen peralatan seperti paip, injap dan pam untuk memastikan penghantaran media yang selamat.
4) Persekitaran suhu tinggi: Langkah tertentu dalam proses semikonduktor perlu dilakukan dalam persekitaran suhu tinggi, seperti rawatan haba, penyepuhlindapan, dll. Cincin O FFKM mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan dapat mengekalkan keanjalan dan pengedapnya. sifat pada suhu tinggi.
5) Rawatan air ultratulen:Dalam pembuatan semikonduktor, air ultratulen digunakan untuk membersihkan dan menulenkan peralatan dan bahan. Cincin O FFKM digunakan secara meluas untuk mengelak peralatan rawatan air ultratulen untuk mengelakkan kemasukan kekotoran dan bahan cemar.
Oleh kerana kos bahan mentah getah FFKM yang tinggi, keadaan kerja di mana pengedap FFKM biasanya digunakan adalah sangat keras. Di bawah keadaan kerja yang keras ini, getah lain terdedah kepada kakisan, bengkak, pembubaran, penuaan dan pengerasan, dsb., mengakibatkan kegagalan pengedap dan oleh itu tidak dapat memenuhi keperluan pengedap. Oleh kerana rintangan kakisan yang sangat baik dan rintangan suhu tinggi, getah FFKM bukan sahaja dapat memenuhi keperluan pengedap keadaan kerja yang keras, tetapi juga meningkatkan hayat perkhidmatan meterai dan mengurangkan kos penyelenggaraan pelanggan.
