SF6, atau sulfur hexafluoride, adalah gas yang biasa digunakan dalam etsa kering, terutamanya digunakan untuk etsa silikon dalam proses pengeluaran semikonduktor. Gas SF6 mempunyai struktur octahedral, yang terdiri daripada atom sulfur pusat yang dikelilingi oleh enam atom fluorin. Ciri-ciri bukan polar menjadikannya gas penebat dalam peralatan elektrik voltan tinggi. Ciri-ciri fizikal SF6 termasuk tidak berwarna, tidak berbau, tidak mudah terbakar, tidak toksik, penebat, lebih berat daripada udara, kapasiti penyejukan, kekuatan dielektrik yang tinggi, kestabilan haba, dan kelarutan yang lemah dalam air tetapi larut dalam pelarut organik bukan polar.
Dari segi sifat kimia, SF6 tidak bertindak balas dengan bahan lain pada suhu bilik, tetapi akan terurai di bawah cahaya ultraviolet yang kuat.
SF6 biasanya dihasilkan oleh industri dan kandungannya dalam alam semula jadi sangat kecil. Persamaan tindak balas untuk pengeluaran SF6 adalah:
2 CoF₃ + SF₄ + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]
Apabila Sf₄, Cof₃ dan Br₂ bercampur bersama dan dipanaskan pada 100 darjah, tindak balas berlaku di antara mereka. Dalam tindak balas ini, sebahagian daripada SF₄ dan COF₃ bertindak balas untuk menghasilkan SF₆ dan COF₂. Bromin tidak dimakan dalam tindak balas, ia hanya bertindak sebagai pemangkin.
Adakah SF6 berbahaya?
Walaupun SF6 tidak toksik dalam keadaan tulen, ia akan menyesarkan oksigen dari udara, dan kepekatan isipadu lebih daripada 19% di udara akan menyebabkan lemas. Oleh itu, adalah sangat penting untuk mengesan kebocoran SF6 tepat pada masanya dan mengambil langkah pencegahan yang sesuai dalam proses pembuatan semikonduktor.
Penggunaan SF6 dalam industri semikonduktor
SF6 digunakan secara meluas dalam pembuatan semikonduktor. Dalam proses etsa silikon, SF6 digunakan sebagai gas etsa utama, dan ia berfungsi bersama -sama dengan gas yang tidak menentu yang dihasilkan SF4 dan C4F8 untuk mencapai etsa silikon yang mendalam. Di samping itu, SF6 sering digunakan untuk etsa kering MO dan W logam, bertindak balas dengan logam ini untuk menghasilkan hexafluorides yang tidak menentu MOF₆ dan WF₆. Walaupun SF6 bukan gas pilihan untuk etsa aluminium, ia boleh digunakan sebagai gas tambahan untuk meningkatkan kadar etsa aluminium apabila dicampur dengan gas seperti CL₂.
Goresan Silikon
Dalam langkah goresan silikon, hanya silikon di bahagian bawah di mana filem pempasifan telah dikeluarkan akan terukir. Gas SF6 diperkenalkan, dan SF6 diasingkan dalam plasma untuk menghasilkan pelbagai produk penguraian, termasuk atom fluorin (F) yang sangat aktif.
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Atom fluorin yang dihasilkan bertindak balas dengan permukaan silikon untuk menghasilkan silikon tetrafluorida (SiF4), sebatian meruap yang mudah dilepaskan dari ruang.
Si+4F-->SIF4
Goresan lapisan pasif bawah
Pada peringkat ini, lapisan pempasifan terbentuk pada kedua-dua dinding sisi dan bawah. Walau bagaimanapun, kami hanya mahu mengekalkan lapisan pempasifan pada dinding sisi untuk melindungi dinding sisi daripada terukir, tetapi kami perlu mengalih keluar lapisan pempasifan di bahagian bawah untuk mengetsa ke bawah. Oleh itu, gas SF6 akan diperkenalkan pada masa ini untuk menyerang lapisan pempasifan di bahagian bawah. Selepas lapisan pempasifan di bahagian bawah hilang, SF6 terus menggores silikon, dan kitaran berulang dengan sendirinya, seperti gelung yang tidak berkesudahan.
Kilang SF6 SF6 SF6 Hexafluoride One-Stop di China
Hantar pertanyaan anda tentang gas Sulfur heksafluorida SF6 kepada kami!
Kami akan menyediakan gas dan perkhidmatan SF6 berkualiti tinggi untuk memenuhi keperluan pembelian anda.
Hantar pertanyaan sekarang
