R32 Difluoromethane Sebagai Gas Etsa Kering Untuk Si3N4

R32 Difluoromethane juga dikenali sebagai HFC-32, formula molekul: CH2F2, sebagai gas etsa anisotropik untuk Si3N4, ia mempunyai selektiviti yang agak rendah untuk SiO2 dan Si. Selain sebagai etsa utama, ia juga boleh digunakan sebagai gas tambahan untuk etsa utama lain untuk melaraskan nisbah fluorin/karbon.

 

R32 – Ciri-ciri Utama:

1. bukan penipisan ozon

2.Tidak Toksik

3. Gas hidrofluorokarbon (HFC).

4.Minyak: POE (Minyak Poli Olester)

Dalam era moden pembuatan semikonduktor, di mana ketepatan dan pengecilan adalah faktor utama, proses goresan memainkan peranan penting. Etsa ialah teknik kompleks yang digunakan untuk mengeluarkan lapisan bahan secara terpilih daripada wafer semikonduktor, membolehkan penciptaan corak litar kompleks.

Goresan kering ialah penggunaan gas untuk mengetsa medium. Kaedah goresan kering biasa termasuk goresan fizikal (seperti goresan pancaran ion) dan goresan wap kimia (seperti goresan plasma). Gas digunakan untuk memberi kesan pada permukaan substrat untuk menggaru, dan cirinya ialah ketepatan pemprosesan yang tinggi.

R32 Difluoromethane ialah gas etsa kering yang biasa digunakan, digunakan secara meluas dalam proses etsa plasma dalam industri elektronik. Selain itu, ia juga merupakan penyejuk dengan potensi penipisan ozon sifar, dan digunakan secara meluas dalam peralatan penyejukan seperti penghawa dingin, peti sejuk, dan penghawa dingin kereta. Berbanding dengan penyejuk tradisional, gas R32 mempunyai kecekapan penyejukan yang lebih tinggi dan kesan alam sekitar yang lebih rendah.

Xiamen Juda ialah pembekal terkemuka penyelesaian gas etsa dan penyejukan di China, menawarkan rangkaian luas produk seperti R32, C4F8,SF6,CF4 dan Gas Penyejuk. Diasaskan pada tahun 1988 oleh salah seorang perintis pembuatan kimia China, Juhua Group Corporation, Xiamen Juda telah berdedikasi untuk mengeksport bahan kimia berfluorinasi sejak tahun 2004. Pasukan kami komited untuk kecemerlangan dan menyediakan penyelesaian gas terkemuka untuk memenuhi keperluan pelanggan kami. Kami berbangga dengan reputasi lama kami untuk kualiti dan kebolehpercayaan. Dengan Xiamen Juda, anda boleh percaya bahawa anda mendapat yang terbaik dalam industri.