Apakah Pembersihan Wafer? Tel:+086-592-5803997
Pembersihan wafer ialah proses semikonduktor yang penting untuk membuang zarah, organik dan bahan cemar logam daripada wafer silikon menggunakan mandian kimia basah (seperti RCA Clean,Goresan piranha dengan H₂SO₄/H₂O₂), pelarut (aseton, metanol), asid hidrofluorik (HF), dan kaedah penyentalan mekanikal atau megasonik, diikuti dengan pembilasan ultra-air tulen dan pengeringan nitrogen untuk memastikan permukaan bebas kecacatan-untuk fabrikasi mikrocip, dengan proses pencelupan{2}sebuah daripada semburan tunggal.
Hidrofluoroeter HFE347, menggabungkan sifar ODP, GWP rendah, tidak-mudah terbakar dan sisa sifar, telah menjadi kegemaran baharu jurutera fab dan kini dianggap sebagai pelengkap dan peningkatan yang berkuasa kepada kaedah konvensional.
proses pembersihan wafer Tel:+086-592-5803997
| Langkah Pembersihan Wafer | Tujuan |
|---|---|
| Pra-Pembersihan Difusi | Mencipta permukaan yang bebas daripada bahan cemar logam, zarah dan organik. Dalam sesetengah keadaan, oksida asli atau oksida kimia perlu dialih keluar. |
| Penyingkiran Ion Logam Bersih | Hapuskan ion logam, yang boleh memberi kesan buruk pada operasi peranti. |
| Penyingkiran Zarah Bersih | Keluarkan zarah dari permukaan menggunakan penyental kimia atau mekanikal menggunakan pembersihan Megasonik. |
| Post Etch Clean | Keluarkan photoresist dan polimer yang tertinggal selepas proses etsa. Keluarkan photoresist dan sisa pepejal, termasuk "polimer etch." |
| Penyingkiran Filem Bersih | Goresan/jalur silikon nitrida, Goresan/jalur oksida, Goresan silikon dan goresan/jalur logam |
Had Pembersihan Konvensional & Peranan Strategik HFE Tel:+086-592-5803997
Proses pembersihan wafer RCA klasik bergantung pada-suhu tinggi,-pelarut kimia akueus ketulenan tinggi (cth, SC-1, SC-2). Walaupun cemerlang dalam mengeluarkan ion, bahan cemar logam dan zarah, proses ini mempunyai dua batasan yang wujud:
Keberkesanan terhad terhadap bahan cemar organik tertentu seperti sisa fotoresist, minyak pam vakum, gris silikon dan pelincir termaju daripada komponen ketepatan.
Cabaran pengeringan "air": Ketegangan permukaan air yang tinggi menimbulkan risiko kritikal semasa fasa pengeringan akhir, selalunya membawa kepada keruntuhan corak dan sisa tera air, terutamanya pada struktur nisbah-aspek-tinggi.
HFE 347, sebagai pelarut hidrofluoroeter termaju, menangani titik kesakitan ini secara langsung melalui sifat fizikokimianya yang unik, meletakkan dirinya sebagai medium yang ideal untuk "kepersisan kering-dalam-pembersihan basah."
Maklumat Asas Pembersihan wafer Hydrofluoroether HFE347
Tel:+086-592-5803997
HFE (Hydrofluoroether) ialah kelas sebatian organik yang terdiri daripada hidrogen, fluorin, karbon dan oksigen, menggabungkan ikatan eter (R-O-R') dan struktur fluoroalkil. Ia direka bentuk untuk mengekalkan prestasi cemerlang pelarut terfluorinasi sambil mengurangkan kesan alam sekitar (seperti penipisan lapisan ozon dan potensi pemanasan global). HFE digunakan secara meluas sebagai agen pembersihan ketepatan, penyejuk, pembawa pelarut, dll., terutamanya dalam bidang elektronik, semikonduktor dan aeroangkasa.
|
Nama Kimia: |
1,1,2,2-Tetrafluoroethyl 2,2,2-trifluoroethyl eter |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
MW: |
200.05 |
|
EINECS: |
609-858-6 |
|
Sifat Kimia |
|
|
Takat didih |
56.2 darjah |
|
ketumpatan |
1.487 |
|
indeks biasan |
1.276 |
|
Graviti Tertentu |
1.487 |
|
Rujukan Pangkalan Data CAS |
406-78-0(Rujukan Pangkalan Data CAS) |
|
Sistem Pendaftaran Bahan EPA |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
Item ujian |
Spesifikasi |
|
Penampilan |
Cecair tidak berwarna jernih |
|
Kesucian |
Lebih daripada atau sama dengan 99.5% |
|
air |
Kurang daripada atau sama dengan 100ppm |
pembersihan wafer semikonduktor HFE 347 Lawatan Kilang Tel:+086-592-5803997
pembekal pembersih semikonduktor - Profil Syarikat Tel:+086-592-5803997
Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. ialah perusahaan strategik yang dilaburkan oleh Juhua Group - peneraju dalam industri fluorokimia China - untuk maju ke-sektor bahan elektronik mewah.
Membina kekuatan rantaian perindustrian penuh Kumpulan, merangkumi daripada bahan mentah fluorin asas kepada fluoropolimer termaju, dan menggunakan kepakaran teknologi-jangka panjangnya, Juda menyasarkan untuk mengatasi halangan bekalan antarabangsa dan mencapai-kecukupan diri dalam bahan elektronik teras. Syarikat ini pakar dalam menyampaikan penyelesaian berasaskan fluorin-tinggi yang penting-untuk pengeluaran semikonduktor, litar bersepadu dan aplikasi elektronik canggih yang lain.
Cool tags: pelarut pembersih wafer hydrofluoroether hfe347, pembekal, pengilang, kilang, sebut harga, harga, beli
